广西师范大学学报(自然科学版)

1987, (02) 42-45

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热激电流测定半导体中深能级浓度的新方法
A NEW METHOD OF DETERMINING THE CONCENTRATION OF DEEP LEVEL IN SEMICONDUCTOR BY TSC TECHNIQUE

陈瑞熊 ,张钢

摘要(Abstract):

通过改变偏压可以得到高低不同的热激电流峰值。本文给出据此确定半导体中深能级浓度的公式。并以掺铂n型硅中的能级Ec-0.23ev为例,说明该方法的应用。

关键词(KeyWords):

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 陈瑞熊 ,张钢

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