热激电流测定半导体中深能级浓度的新方法A NEW METHOD OF DETERMINING THE CONCENTRATION OF DEEP LEVEL IN SEMICONDUCTOR BY TSC TECHNIQUE
陈瑞熊 ,张钢
摘要(Abstract):
通过改变偏压可以得到高低不同的热激电流峰值。本文给出据此确定半导体中深能级浓度的公式。并以掺铂n型硅中的能级Ec-0.23ev为例,说明该方法的应用。
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作者(Author): 陈瑞熊 ,张钢